該方法提取物體表面顆粒，對洗滌液進行真空過濾，在濾膜上過濾顆粒污染物，然后對顆粒污染物進行分析，分為粒度定量法和重量法，這是顆粒清潔度的主要測試方法。
　　1，稱重法
　　試驗方法如下:根據所要求的標準，選取一定數量的部件，按照所建立的方法取樣，將溶液中顆粒物的表面抽取出來，取干濾膜，稱重后，通過真空過濾系統，將顆粒物過濾到濾膜上，對完全干燥的濾膜進行稱重，得到的總重量從濾膜的重量中減去，即顆粒污染物的凈量。實驗室研究現有0.01mg和0.1mg兩種不同精度的電子數據分析天平。
　　2，顆粒尺寸數量法
　　零件清潔度測試的另一種常用方法是粒度數法。被檢測的污染物顆粒可以根據其表面形成具有的不同的光吸收或散射率來計算，這便是顆粒結構尺寸以及數量法的基本工作原理。試驗方法與稱重法相同，將干燥后的濾膜置于金相顯微鏡下，根據顯微鏡下不同非金屬顆粒和金屬顆粒的光度差異，同時利用計數分析軟件，計算出整個濾膜上不同粒徑的金屬顆粒和非金屬顆粒的數量分布。
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